试验方法例如民用标准有国家标准GB2423系列标准等国标的环境试验方法军用标准有国家军用标准GJB548GJB150GJB360等国军标的环境试验方法10。测量和标定方法按照检测对象分类参照IECISO等国际标准制定成国家标准或军用标准。
3加强军用MEMS传感器的可靠性试验的研究工作和数据积累工作固化试验成果建立数据资源系统为产品的可靠性评价提供技术支撑和服务。
4加强产品标准化研究推出与国际接轨又符合我国国情的产品系列。32加强标准化工作的国际合作MEMS传感器标准化工作在国外也是刚刚起步13我国MEMS传感器产品的研制水平接近国外先进水平在国内组织行业标准化专家队伍积极参与国际标准化工作将我国MEMS传感器的标准化成果推入国际市场。33加强MEMS传感器标准化工作管理传感器的研制、生产单位涉及各工业部门标准化工作没有统一归口各工业部门通过各种渠道分别制订自己的行业标准、国家标准、国家军用标准标准重复立项标准技术内容有较大的差异给研制和使用带来困惑甚至同一产品无法采用同一标准标准没有起到标准化的作用14为避免MEMS传感器遭遇同样问题建议国家主管部门采取措施将MEMS传感器的标准化工作统一归口管理建立MEMS传感器标准化专家组协调和指导各部门的标准化工作。
第五章总结随着微纳米技术的发展、微机械制造技术的成熟越来越多的传感器开始向着微型化
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不断发展。利用MEMS技术加工制作的微型传感器具有微型化、集成化、低成本、易批量生产等一系列优点其呈现出来的优势受到了越来越多国家的重视很多国家也开始投入重金发展微型传感器。虽然目前己经开发出的微型传感器还存在灵敏度低、工作区窄、精度差等不足15但是相信随着科研的深入以后的微型传感器一定可以克服现阶段的不足呈现出蓬勃的发展生机。
参考文献1黄军辉陈述官廖中文王海林MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望J拖拉机
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与农用运输车201138021372王淑华MEMS传感器现状及应用J微纳电子技术201148085165223宋锐刘宏立李和平MEMS姿态传感器在控制飞行器中的应用研究J科技创新导报201613248104路永乐张欣龚爽周帆刘宇基于MEMS惯性传感器的人体多运动模式识别J中国惯性技术学报201624055895945屈召贵龚名茂汪光宅基于MEMS陀螺传感的测斜仪研制J煤田地质与勘探201745021431461516迎九尤政院士谈中国制造与传感器MEMS的r