目录
引言１第一章MEMS技术概要２
11MEMS技术的发展２12MMES技术发展的浪潮２第二章MEMS传感器分类及典型应用３11MEMS加速度计４
111压阻式微加速度计４112电容式微加速度计４113压电式微加速度计４12微压力传感器５13MEMS陀螺５14微气体传感６15微温度传感器６第三章国内外MEMS传感器的标准化目前概况６21MEMS传感器标准化国内概况６22MEMS传感器标准化国外概况７第四章对我国MEMS传感器标准发展对策的几点建议７31推出我国自主创新的MEMS传感器标准７32加强标准化工作的国际合作８33加强MEMS传感器标准化工作管理８第五章总结８参考文献９致谢r