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致谢
山西大学
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fMEMS传感器综述
本论文是在刘老师的亲切关怀和悉心指导下完成的。她严肃的科学态度，严谨的治学精神，精益求精的工作作风，深深地感染和激励着我。老师不仅在学业上给我以精心指导，同时还在思想、生活上给我以无微不至的关怀，在此谨向老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意我还要感谢我身边的同学们，正是由于你们的帮助和支持，我才能克服一个一个的困难和疑惑，直至本文的顺利完成。
在论文即将完成之际，我的心情无法平静，从开始到论文结束，有多少可敬的师长、同学朋友给了我无言的帮助，在这里请接受我诚挚的谢意！最后，再次对关心、帮助我的老师和同学表示衷心地感谢！
山西大学
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f毕业设计指导课
Graduatio
desig
guida
cecourse
MEMS传感器综述
OverviewofMEMSse
sors
系别：自动化系专业：测控技术与仪器班级：测控1403班姓名：曹梁梁学号：1492120301
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