）3部分AZO靶材可在100Ar环境下成膜，制程控制容易4耐化性比ITO差，通常以添加Cr、Co于Z
O系材料中来提高其耐化性图：ITO与IZO结晶性与蚀刻率影响六、透明导电膜TOC及ITO的未来发展透光导电玻璃作为平板显示器产品的重要原材料，今后的发展方向仍将是高透光率ITO玻璃，极低面电阻高穿透率之研究、超平坦透明导电膜，在塑料基板成膜等方面，以满足快速发展的平板显示器行业的需要。
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