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ITO导电玻璃及相关透明导电薄膜的原理及应用
作者：马彩霞来源：《文化产业》2014年第11期
摘要：简单介绍了ITO导电玻璃的制备，及其在多种平板显示器中的应用，并相应给出了其基本特性和要求。关键词：ITO导电玻璃彩色滤光片溅射靶材文章编号：16743520（2014）110002引言当今世界正处于信息时代，平板显示器（flatpa
eldisplay，FPD）是我们接受信息的一个重要视觉窗口，其在生产制造中都离不开ITO导电玻璃，ITO导电玻璃可用于多种平板显示器，主要的有液晶显示器（LCD）、有机电致发光（OLED）显示器、触摸屏等。由于平板显示器，尤其是液晶显示器在整个显示行业应用领域最为广泛，制造技术最为成熟。液晶显示组件的发展，也就是由被动式矩阵驱动向列型（TN）超扭向型（STN）液晶显示器，推向主动式矩阵驱动薄膜晶体管液晶显示器，并更加发展至所谓的新世代的显示器，有机电发光显示器或有机发光二极管（OLED），无论如何发展而铟锡氧化物薄膜的重要性并无任何地变化。使用于液晶显示器的ITO膜，不仅作为透明的画素电极之功能而且也作为简单矩阵型STNLCD的扫描电极和信号电极，以及主动型TFTLCD的共通电极和阵列电路中配线之重要角色，随着彩色化、高解析化和人机界面化（触控面板），促使相关液晶显示器和其它平面显示器的成长快速，因此本文我们重点介绍ITO导电玻璃在液晶显示器中的应用。一、什么是ITOITO（i
diumti
oxide，氧化铟锡）透明导电薄膜的主要功能是在于其极佳的电极材料而应用于平面面板显示器，具有发热、热反射、电磁波防止和静电防止等不同的用途。ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃，它采用磁控溅射沉积成膜技术，以ITO材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性，适于制作透明显示电极，是平板显示器生产的重要原材料之一，玻璃基板的厚度通常只有03～11mm，它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点，因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示
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器的兴起至今已经历了30多年的历程，并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。早期液晶显示组件的发展过程中，主要的电极材料是金（Au）和氧化锡（S
O2），此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求，r