传统电子技术相比其主要特征是器件和电路的微小型化它把电路系统设计和制造工艺精密结合起来适合进行大规模的批量生产因而成本低可靠性高112微电子技术的巨大作用从产生之日起以半导体和集成电路为基础的微电子技术就在国民生产中发挥了重大作用微电子技术为现代信息技术奠定了基础它已渗入电力电信计算机生产自动化等现代高科技国防等各个领域每一次微电子技术的进步都大大推动了工业农业国防等各个领域技术的进步现在以微电子技术为基础的计算机技术通信技术等在现代社会发挥了重大作用它们已成为现代信息社会的标志计算机技术是现代信息技术的核心每天都有大量的数据依赖计算机采集整理和分析微电子技术使得计算机的性能大大提高导弹火箭卫星雷达航天飞机等的飞速发展无不得益于微电子技术的进步同时计算机的大批量生产也成为可能从而使计算机不再只是放在科研院所作科学计算而是以飞快的速度得到普及广泛应用于辅助设计生产管理学习娱乐等方面在日常生括中发挥着重大作用现代通信技术则为快速大量的信息交流提供了
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f基础现在人们已在地球上建起了由程控交换机通信卫星光纤网络各类终端等现代通信工具构成的覆盖全球的通信网络如今你无论在哪个地方都能通过有线或无线网络了解到地球上正在发生的事情可以说微电子技术已和我们的生活密不可分我们身边的一切都有微电子技术的影子甚至我们的生活方式都受到其深远的影响如看电视打电话使用电饭煲电冰箱等等都是因为有了微电子技术的发展113微电子技术的危机微电子产业经过了这60余年的发展其技术已快接近理论的极限几十年来集成电路内晶体管的尺寸和线宽不断缩小其基本方法在于改进光刻技术使用更短波长的曝光光源在025um的时代光源主要是紫外光目前使用了深紫外线光刻技术DUV芯片线宽下降到018013um理论上将使集成电路的线宽达到01um而英特尔摩托罗拉等公司从20世纪90年代起就开始研发超紫外线光刻技术EUV它能使集成电路的线宽突破01um的大关然而这种缩小趋势不可能长久持续物理和技术上的限制会阻碍这种持续晶体管的尺寸小到一定程度就不得不考虑电子的量子效应那时现有技术就将达到极限不仅如此随着集成电路集成度的提高芯片的生产成本也越来越高一个018um生产工艺制造厂的生产建设成本就高达40亿美元2在制造晶体管的材料上现有技术也遇到了问题几十年来SiO2一直被用作晶体管的栅介质和电容介质随着半导r