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f0前言
微电子技术作为现代高科技的代表过去现在和将来都会在经济发展中占据着举足轻重的地位微电子技术水平的高低是衡量一个国家综合国力的重要标志日本人认为谁控制了超大规模集成电路产业谁就控制了世界产业英国人说如果哪个国家不掌握半导体与微电子技术它便会迅速加入不发达国家的行列事实上世界科技国防与经济发展的现状也完全证实了这一点
1微电子技术的历史及现状
11微电子技术的发展史微电子技术是19世纪末20世纪初开始发展起来的一门新兴技术它是随着集成电路尤其是随超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术它包括系统电路设计器件物理工艺技术材料制备自动测试以及封装组装等一系列专门的技术是微电子学中各项工艺技术的总和可以说微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐步形成和发展起来的其核心是集成电路即通过一定的加工工艺将晶体管二极管等有源器件和电阻电容等无源器件按照一定的电路互联采用微细加工工艺集成在一块半导体单晶片如硅和坤化镓上并封装在一个外壳内执行特定电路或系统功能与r
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