和超精密加工机床发展概述，典型超精密机床简介，超精密机床的主要部件及关键技术。
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f基本要求：1）超精密加工对机床的技术要求、超精密机床的基本概念。2）了解超精密机床的技术特点。3）掌握超精密机床主轴、床身和导轨、进驱动系统等的工作原理和性能特点。重点1）超精密机床的技术要求和结构特点。2）超精密机床主轴、床身和导轨、进驱动系统等的工作原理和性能特点。难点不同工作原理的机床主要部件的性能特点及选用。第6章精密加工中的测量技术（2学时）精密加工中长度、直线度、圆度的测量方法，激光测量技术。基本要求：1）了解长度、直线度、圆度的测量方法。2）了解和掌握激光测量原理和特点。重点1）长度、直线度、圆度的测量原理。2）激光干涉测量原理。难点激光干涉测量原理。第7章在线检测与误差补偿技术（2学时）在线检测与误差补偿方法，微位移技术。基本要求：1）了解和掌握在线检测与误差补偿方法的原理和特点。2）了解和掌握微位移技术的原理和应用特点。
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f重点1）在线检测与误差补偿方法的原理。2）各种微位移装置的工作原理难点在线检测与误差补偿方法的原理。第8章精密和超精密加工的外部支撑环境（2学时）空气环境和热环境，振动环境，噪声和其它环境，精密和超精密加工的环境要求及技术设施。基本要求：1）了解和掌握精密和超精密加工对环境的要求。2）了解和掌握振动、温度等环境对超精密加工的影响。重点1）精密和超精密加工对环境的要求及措施。2）振动、温度等环境对超精密加工的影响。难点振动、温度等环境对超精密加工的影响。第9章典型零件的精密和超精密加工技术（2学时）典型精密件的加工工艺，半导体基片、光学非球面等器件加工技术。基本要求：了解和掌握半导体基片、光学非球面等典型器件加工技术。重点精密和超精密加工技术在半导体基片、光学非球面等重要器件加工中的应用。难点超精密加工新工艺的综合应用。第10章微细加工和纳米加工技术简介（2学时）
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f微细加工技术的概念、加工机理及方法简介，纳米和纳米加工技术概述，微机械及微机电系统简介。
基本要求：1）了解和掌握微细加工技术的概念、加工机理及方法2）了解纳米加工技术和微机械及微机电系统的基本概念。重点1）微细加工技术的概念及加工机理。2）纳米加工技术和微机械及微机电系统的基本概念。难点微细加工的机理。
（五）教学环节1．课堂讲授（30学时）任课教师必须做到下面几点：1）认真备r