进行安全性检测时需要知道车辆一些部位的压力情况以此来确保汽车处于安全工作状态此时便可利用微压力传感器体积小等特点测量到一些利用传统压力传感器难以测量的部位的压力使车辆的安全系数更高4。航空航天器在飞行的过程中由于外界环境条件十分复杂飞行器的外表面可能受到各种载荷的影响因此需要对飞行器外表面所受到的压力进行实时监测防止其超出材料所能承受的极限同时在飞行器的发动机内部不同的压力条件下发动机的工作性能会产生很大的不同在一些极端的条件下压力过大过小会导致发动机停止工作因此对发动机工作压力的实时监测就显得十分重要利用微压力传感器则可顺利完成这些工作。
13MEMS陀螺
在飞机飞行的过程中需要对飞机的俯仰、偏航、滚转三个自由度进行测量不光需要测量加速度还需要测量角速度。加速度可以使用加速度计进行测量而角速度的测量一般是利用陀螺仪来进行测量的5。目前使用的陀螺仪利用高速转动的物体具有定轴性当具有角度偏转时可以测量出偏转的角度进行微分计算则可以得到角速度。现在在飞机上使用的陀螺仪由于外部条件的要求其精度十分高但高精度带来的代价就是结构复杂、寿命短使其使用成本大幅增加。因此目前为止这种陀螺仪也仅仅使用在需要高精度的导航方面。实际上角速度传感器可在生活军事等各个领域都有广泛的应用。近年来随着微机械加工技术的不断发展与进步制造精度的不断提高制造可批量生产、精度较高的微型陀螺己经成为可能。但是尽管己经有各种新型的微陀螺诞生但尤于其还是一个刚刚起步的行业有
山西大学
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fMEMS传感器综述
许多的问题还需要不断改进且目前己经生产出的微陀螺其测量精度较差只能说可以实现功能根本无法应用到实际因此微型陀螺的发展仍然任重而道远。
14微气体传感
随着微纳米技术的发展各种不同性能的气体传感器也成为各国政府所重视的问题微气体传感器应运而生。根据微气体传感器制作材料的不同微气体传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器6。微气体传感器由于可以集成各种传感器于一块芯片满足了人们在测量气体时多种测量的需要。例如许多气敏传感器在不同的工作温度下可能测量会有明显的差异每个气敏传感器都有一个属于自己的最佳测量温度。因此在测量气体的时候还需要对温度进行测量以确定传感器适用的计算公式。目前微机械制造技术发展比较完善微纳米技术的发展更是让一个芯片可以完成很多不同的功能将气敏传感器同温度传感器集成到一r