洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
1目的
建立尘埃粒子检测的标准操作程序，用以规范检测人员的检测操作。
2范围
适用于洁净区尘埃粒子数的检测。
3职责
31专职检验员负责洁净区尘埃粒子的检测。
32质量监督员负责监督本规程的执行。
4内容
41仪器设备
411校验合格并在有效期内的尘埃粒子计数器。
42采样
421空态静态测试时，采样点的布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于集中，按照洁
净区的面积大小制定最少采样点数目，不得少于最少采样点数目。动态测试时，悬浮粒子采样
点数目及其布置，应根据产品的生产及关键工艺操作区设置。
表1最少采样点数
面积（m2）
洁净度级别
100
10000
100000
10
2～3
2
2
≥10～20
4
2
2
≥20～40
8
2
2
≥40～100
16
4
2
≥100～200
40
10
3
≥200～400
80
20
6
≥400～1000
160
40
13
注：表中的面积，对于单向流洁净室，是指送风面积，对于非单向流洁净室，是指房间面积。
表2最小采样量（L次）
粒径大小
洁净度级别
100
10000
100000
≥05μm
566
283
283
≥5μm
85
85
85
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f洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
422采样点位置工作区采样点的位置离地08米～15米左右（略高于工作面）。并在关键设备或关键工作
活动范围处增加采样点。
图1采样点位置参考图423采样次数的限定
对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。43采样注意事项431对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应向上。432布置采样点时，应尽量避开回风口。433采样时，测试人员应在采样口的下风测，并尽量少活动。434采样完毕后，对尘埃粒子计数器进行自净。435采取一切措施防止采样过程的污染。44测试状态
空态、静态和动态三种状态均可进行测试。空态或静态时，室内测试人员不得多于2人。静态测试时洁净室净化空调系统已处于正常运行状态，动态测试时洁净室已处于正常生产状态。测试状态的选择必须符合生产的要求，并在报告中注明测试状态。45测试时间
对单向流，如100级净化房间及层流工作台，应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始；对非单向流，如10000级、100000级以上的净化室，测试应在净化空调系统正常运
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行不少于30分钟后开始。动态测试时，须记录生产开始的r