洁净室尘埃粒子检测尺度操纵规程
⒈
宇文皓月
⒉目的：论述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操纵。
⒊范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作⒋责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。⒌测依据：⒍内容：
51仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径≥05μm；滤膜显微镜用于粒径
≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格依照
仪器说明书操纵。
52测定尺度
悬浮粒子最大允许数／立方米（a）
洁净度
静态b
动态b
级别
≥0．5μmd
≥5μm
≥0．51μmd
≥5μm
100级
3500
1
3500
1
10000级
3500
1
350000
2000
100000级
3500002000
3500000
20000
300000级
350000020000
不作规定
不作规定
频次
一次／月一次／月一次／月
f53测试方法531仪器开机预热至稳定后方可按说明书的规定对仪器进行校正。532采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。534采样管必须干净、严禁渗漏。535采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于15m。536计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免发生丈量误差。537必须依照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以包管测试数据的可靠性。54测试规则541测试条件5411温度和湿度：洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应，温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45～65之间为宜。5412压差：空气洁净度分歧的洁净室（区）之间的压差应≥5Pa，空气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。542测试状态：有静态测试和动态测试。
f5421静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。
5422动态测试时已处于正常生产状态，所发生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出尺度，但当操纵完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。
5423测试陈述中应标明测试时所采取的状态。543测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间很多于30分钟后开始。544悬浮粒子计数5441采样点数目及其安插54411采样点数目及其安插应根据产品的生产及工艺关键操纵区设置。54412采样点安插要求均匀，防止采样点在某局部区域过于稀疏。54413采样点一般在工作台面上02m高度的平面上均匀安插。5442采样点r