非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺
内容提纲
一、非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介
二、非晶硅太阳能电池制造工艺
三、非晶硅电池封装工艺
一、
非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介
1、电池结构
分为：单结、双结、三结
2、制造技术
三种类型：
①单室，多片玻璃衬底制造技术
该技术主要以美国Chro
ar、APS、EPV公司为代表
②多室，双片（或多片）玻璃衬底制造技
该技术主要以日本KANEKA公司为代表
③卷绕柔性衬底制造技术（衬底：不锈钢、聚酰亚胺
该技术主要以美国U
iSolar公司为代表
所谓“单室，多片玻璃衬底制造技术”就是指在一个真空室内，完成P、I、N三层非晶硅的沉积方法。作为工业生产的设备，重点考虑生产效率问题，因此，工业生产用的“单室，多
f片玻璃衬底制造技术”的非晶硅沉积，其配置可以由X个真空室组成（X为≥1的正整数），每个真空室可以放Y个沉积夹具（Y为≥1的正整数），例如：
1986年哈尔滨哈克公司、1988年深圳宇康公司从美国Chro
ar公司引进的内联式非晶硅太阳能电池生产线中非晶硅沉积用6个真空室，每个真空室装1个分立夹具，每1个分立夹具装4片基片，即生产线一批次沉积6×1×4＝24片基片，每片基片面积305mm×915mm。
1990年美国APS公司生产线非晶硅沉积用1个真空室，该沉积室可装1个集成夹具，该集成夹具可装48片基片，即生产线一批次沉积1×48＝48片基片，每片基片面积760mm×1520mm。
本世纪初我国天津津能公司、泰国曼谷太阳公司（Ba
gKokSolarCorp）、泰国光伏公司（ThaiPhotovoltaicLtd）、分别引进美国EPV技术生产线，非晶硅沉积也是1个真空室，真空室可装1个集成夹具，集成夹具可装48片基片，即生产线一批次沉积1×48＝48片基片，每片基片面积635mm×1250mm。
国内有许多国产化设备的生产厂家，每条生产线非晶硅沉积有只用1个真空室，真空室可装2个沉积夹具，或3个沉积夹具，或4个沉积夹具；也有每条生产线非晶硅沉积有2个真空室或3个真空室，而每个真空室可装2个沉积夹具，或3个沉积夹具。总之目前国内主要非晶硅电池生产线不管是进口还是国产均主要是用单室，多片玻璃衬底制造技术，下面就该技术的生产制造工艺作简单介绍。
二、
非晶硅太阳能电池制造工艺
1、
内部结构及生产制造工艺流程
下图是以美国Chro
ar公司技术为代表的内联式单结非晶硅电池内部结构示意图：
图1、内联式单结非晶硅电池内部结构示意图
f生产制造工艺流程：
S
O2导电玻璃S
O2膜切割清洗预热aSi沉积（PINr