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图3：扭摆式微加速度计的结构MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈
当质量平板发生偏移时，可以利用电容的静电力来调节平板的偏转角度，提高系统的测量范围，改善系统的动态特性。其基本特点与电容式类似。
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隧道式微加速度计
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隧道效应就是平板电极和隧道针尖电极距离达到一定的条件，可以产生隧道
电流。由JGSimmo
s推导的隧道电流和针尖与下电极之间的距离关系可以描述
为：MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈I∝V×expαkx
（4）MEMS加速度计的原理及运用上
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式中，V为施加在电极两端的电压；α为有效势垒高度；x为电极间隙；k
为常数。MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈这样可以看出，隧道电流与极板之间的间隙x呈负指数关系。隧道式微加
速度计常用悬臂梁或者双端固支梁支撑惯性质量块，质量块在惯性力的作用下，
位置将发生偏移，这个偏移量直接影响到隧道电流的变化，通过检测隧道电流变
化量来间接检测加速度值。系统的典型结构示意图如图4
所示。MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈
图4：隧道式微加速度计原理示意图MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶r