MEMS
加速度计的原理及运用
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高鹏
黄国胜
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2006．1219MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈
目录
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f1MEMS
加速度计基本原理分析
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MEMS
简介
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微加速度计的类型
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差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理
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MEMS
微加速度计的制造工艺
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MEMS
微加速度计主要性能指标的设计和控制
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MEMS
加速度计的其它结构
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