汽车的自动驾驶和导弹的制导。汽车工业的迅速发展又给加速度计找到了新的应用领域，汽车的防撞气囊（AirBag）就是利用加速度计来控制的。
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勇葛戈
作为最成熟的惯性传感器应用，现在的MEMS加速度计有非常高的集成度，
即传感系统与接口线路集成在一个芯片上。本文将就微加速度计进行初步设计，
并对其进行理论分析。MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈
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微加速度计的类型
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压阻式微加速度计
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压阻式微加速度计是由悬臂梁和质量块以及布置在梁上的压阻组成，横梁和质量块常为硅材料。当悬臂梁发生变形时，其固定端一侧变形量最大，故压阻薄膜材料就被布置在悬臂梁固定端一侧（如图1所示）。当有加速度输入时，悬臂梁在质量块受到的惯性力牵引下发生变形，导致固连的压阻膜也随之发生变形，其电阻值就会由于压阻效应而发生变化，导致压阻两端的检测电压值发生变化，从而可以通过确定的数学模型推导出输入加速度与输出电压值的关系。压电式微加速度计是最早出现的微加速度计，其优点是：结构简单，芯片的制作相对容易，并且接口电路易于实现。其缺点是：温度系数比较大，对温度比较敏感；和其他原理微加速度计相比，其灵敏度比较低，蠕变和迟滞效应比较明显。
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f图1：压阻式微加速度计原理图MEMS加速度计的原理及运用上焰签吐多脸脱洋拳洒钉知爬翱募杏鳞缨屿饥空杆攀胺胎滋痉镭腻父橙疡仰为砷组沿刨幸迁奸忍祭冻富暖钎怔兔熔琐腮舶书隧晓冬战忻蒲椭勇葛戈
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电容式微加速度计
MEMS加速度计的原理及运用上r