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21世纪初微电子技术发展展望
器加速度计磁强针等微电子机械隧道执行器的研究目的是开发存储容量高达太比特Tbt级行爬行跳跃功能的装备2利用纳米技术制造看似小草的微型探测器具有敏锐的电子侦察仪器照相机和感应器3蚂蚁一般大小以微型太阳电池作动力的
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