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储器最有代表性的产品目前韩国三星集团已创造出1GbDRAM样品日本电气公司已开发出4Gb和1Gb芯片贝尔实验室正在开发用于生产64GbDRAM的制造技术2000年将开发出0112∧的全功能1GDRAM预计2010m制造出了0107∧的逻辑门按照I
tel和ImBM专家推测在未来10年内将用x射线光刻以及其它技术制造出包含有5000万个1亿个晶～体管的能够在1GHz下工作的微处理器到2010年以后包含10亿个晶体管每秒能处理1000亿条指令的微处理器将问世SiGe材料生长技术发展很快已可研制直径为200mm8英寸的圆片SiGeHBT提供r
年可制造出64Gb的DRAM此外图象处理用存储器VDRAM低压≤3V工作的存储器也正在开发研制中SRAM1M4M16M64M已投入生产256MSRAM有望在2000年问世FLASH被称为是新一代存储器r
了是硅双极晶体管3倍的开关速度其高频性r
第36卷第1期1999年2月半导体情报r
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能可与GaAs器件相比拟而且保持了与硅技术类似的成本和成品率与硅技术完全兼容适合于与CMOS技术集成化SiGeHBT的截止频率已达到113GHzfmax达到160GHz已制成的SiGeECL环形振荡器其开关特性在112mA下为20ps预计在数字应用方面SiGe将占领重要地位SiGeHBT高截止频率maxf高Β低基区电阻满足无线通信中的应用在光电子学方面SiGe红外探测器SiGe光波导等也已研制成功r
由微型机构微型传感器微型执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统其目标是把信息获取处理和执行一体化地集成在一起使其成为真正具有多功能的系统EMS会像M微电子改变电学工程一样对21世纪的科学技术生产方式和人类生活质量都会有深远影响是关系国家科技发展和经济繁荣的关键技术法国联邦政府则每年拿出6500万美元支持微系统研究日本对微系统技术的开发提供了2135亿美元为期10年的资助MEMS研究已取得多项成果研制成功了多种微型元器件和微型系统如微型压力传感器微型加速度传感器微型陀螺等这些器件有的与IC集成在一起形成组件形成灵巧传感装备微执行器有微泵微马达微麦克风等微型小型机动车在磁场中可以飞行的小蝴蝶等系统在实验室也已研制成功利用先进的微机械加工技术和多层结构材料开发的微型发动机已实现了200000转分的转速预计新型的微型发动机速度将达到400000转分石英音叉陀螺的水平已达到量程±400°s分辨率为011°s另外到目前为止已研制出多种微机械电子隧道传感器包括红外探测r