被使用，因为探针几乎是无摩擦的，因为在设备里面几乎无摩擦的线性关系。被测工件放置在花岗岩工作台上然后固定。电子触摸探针在测量的工件周围环绕，接触需要测量的地方，探头运动可以在xy或z方向，探针的运动可以手动控制，通过数控或可编程控制器控制，同时读出控制台显示的位置探测器的三坐标，根据被测原件的不同可以使用不同形状的探针。例如如果涉及洞的中心轴的尺寸测量一个锥形塞可用作探针。测量的准确性是由显微镜中的云纹模具所决定的，它们在设备上被放置在一起，云纹模具在各种领域中被发现通过光电池，然后转化为电子脉冲。在测量10到30英寸时，有2到4的测量误差是正常的，探头通常是安装在类似桥梁的结构上但可能是悬臂安装或固定关节的机械臂，机器通常是安装在一个温度和湿度控制的房间里面，可以进行坐标，轮廓和角测量。有些机器配有多个探针或视觉设备或激光扫描仪见下文，除了接触探针，这样的机器多涉及多传感器系统。图14D1演示了一个典型的坐标测量机。
图14D1具有坐标测量机的机器尺寸测量
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D2视觉设备在工业中利用工件的图形图像作为系统质量，机器或过程控制的一部分。通过电子方法捕获图像来完成控制然后利用图像的数字数据，作为计算机处理的数据提供显示、将好的和坏的零件分类或激活控制机制。视觉设备系统是多功能的在医学诊断、监测、所在地区的邮编邮件排序交通管制条形码阅读领域有很多非制造业的应用。视觉设备系统包括对工件或现场照片进行适当的描述照相机或摄像机，一个数字模拟转换器尽管一些系统处理数字数据直接来源于相机足够的计算机阶段来处理数据计算机软件应用程序和执行设备对计算机的数字信号作出响应。适当的照明是一个关键因素有各种照明安排背光、低角度照明或强调漫射照明必要的图像元素。
图14D2显示了一个典型的工业视觉系统的元素。
图像处理删除掉不必要的细节。什么细节是想要的什么是结果不希望分割去除的选择元素的过程必须通过测量来获得期望的结果。分割降低了计算机必须处理的数据量加快系统的操作。一种常见的分割是专注于图像的“边缘”相对而言，是工件或者阴影的三维工件边缘特性的变化。这种局部分析是为什么适当的照明至关重要的一个原因。意想不到的边缘可能是工件表面瑕疵或其它缺陷的迹象。另一种分割方法是相机扫描工件一条狭窄的部分而不是其全部区域，如果这足以满足所需的测量。另一个是分析整体影像中小的关键部r