的特点。但是它的一个根本弱点就是受环境影响严重，在测试环境恶劣，测量距离较长时，这一缺点十分突出，其原因在于它是一种基于直流调幅信号处理的干涉仪，受环境影响严重，从而产生计数误差。激光干涉仪产生的光信号要经过光电转换和电压放大，因此会产生直流漂移误差同时也影响着测量精度。另一方面，由于激光功率和输出光束光强难以控制会引起输出电流变化从而引起漂移。由于以上几个因素使得单品激光干涉仪的应用场合受到极大的限制，只能在环境条件良好的情况下使用。
而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是基于外差干涉测测量原理。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，因此其具有抗干扰能力强、信号噪声
下载后可复制编辑
f精品文
小等优点，被广泛应用于在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定，既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。但是国外的双频激光干涉仪的价格昂贵，国内一些产品成本低，但是其稳定性差，寿命短。
3国内外发展和应用现状
31国内外发展现状
目前先进的激光干涉仪多来自工业发达国家，以英国雷尼绍（Re
ishaw）、美国安捷伦（Agile
t原
属HP公司、美国ZYGO三家公司的激光干涉仪比较典型也比较成熟。我国因起步发展较晚，与发达国
家尚有差距。成都工具研究所是国内生产和供应激光干涉仪的最重要的厂家之一。其分辨率可达20
m，最
高测量速度可达300mms。成都工具研究所开发的产品应用的范围很广，可以完成直线度测量、垂直度测
量、平面度测量、机床位置精度检定等等。国内清华大学、中国计量科学研究院、北京电子显微镜实验室
等等都获得了纳米或者亚纳米的测量精度。
参数
公司Agile
tRe
ishawZYGO成都工具所
单双频
双频
单频双频
双频
最大频差（MHz）4

20
12
最高测速
1000
10005100
300
分辨率（
m）
12
1
031
20
测量范围（m）±21
80±212
20
表1国内外代表性干涉仪技术指标比对
由表11可以看出目前我国在大量程、纳米级精度的位移传感研究方面与国外差距巨大，各种高精度激光干涉仪均为国外品牌，分辨率优于05
m的纳米激光干涉仪为集成电路生产设备的核心检测仪器，r