对我国禁售，严重制约着我国高档数控机床与基础制造装备、精密超精密机械和光学制造装备、半导体集成电路、光学技术、航空航天、国防工业等技术领域的发展14，此种局面不仅涉及到我国的国防、经济安全，更关系到国家由制造大国向制造强国的战略转型。并且由于单频激光仪的直流漂移比较严重，目前产品较少，国内外大部分还是以双频激光干涉仪为主。产生双频激光干涉仪主要有塞曼效应和声光调制两种。32国内外激光干涉仪应用现状
NIST在二十世纪90年代初研制了一台超高精度的分子测量机，主要采用了双频激光干涉仪作为检测手段，主要通过控制温度低于1m℃的浮动范围以及高度的真空环境，测量精度能达到原子尺度。
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PTB在2003年成功研制除了计量型大范围扫描探针显微镜，主要采用单频激光干涉仪作为检测手段，测量能力达到25
m×25
m×5
m测量范围，510
m的不确定度，125
m分辨率。
NRLM研制了四光束偏振迈克尔逊干涉仪，采用稳频塞曼激光作为光源、能实现硅晶格间距等基本常量的测量。
清华大学成功在线测量超光滑表面粗糙度的激光外差干涉仪，光源是稳频半导体激光器，此干涉仪能达到039
m和073μm的横向和纵向分辨率。
NIM等研制差拍法珀干涉仪用于纳米测量，其测量能力能达03
m的分辨力，±11μm的范围，低于35
m的不确定度。参考文献：
1所睿范志军李岩双频激光干涉仪技术现状和发展J激光与红外2004，3443373402段小艳任冬梅激光干涉法微位移测量综述J计测技术2012，06153羡一民王科峰激光干涉仪技术和发展J工具技术2003，371168734谭翔飞用于精密位移测量的单频激光干涉系统研究D浙江大学，2013
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