激光的干涉光强就会随着测量镜的移动而产生干涉明暗条纹变化，通过光电探测器以及相应的光电转换电路将光强信息变成电信号，经过一系列的调理电路之后输入到数字处理器或者计算机上，计算出干涉条纹数量，之后根据公式计算出位移。
激光器
准直器
参考镜分光镜
测量镜
光电转换光电转换放大整形
可逆计数
补偿
PC
图2单频激光干涉仪原理
单频激光干涉仪测量技术虽然可以达到很高的精度，但是单频激光测量的光强信号和经过光电转换后获得的电信号都是直流信号，存在直流漂移，同时单频激光干涉仪测量技术对外界环境要求特别高，干涉仪的两臂的光强不允许有较大的变化，一旦外界环境扰动造成光强的变化，仪器可能就会停止工作。因此整个单频激光干涉仪测量系统中对于信号的调理就显得尤为重要，这对整个光电测量系统的测量准确度有着重要的影响。
112双频激光干涉仪
为了减小单频激光干涉仪的缺点，双频激光干涉仪通过高频调制测量信号的相位，把信号频带带出低频区，滤除环境噪声以及相应的电噪声。图13是典型双频激光干涉测量系统的原理图。
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f双频激光器
固定角隅棱镜BS
f1f2
检偏器
光探测器
检偏器
光探测器
测量
f2
角隅棱镜
f1f1
PBS
f2f1
f2f1f1
细分计数图3双频激光干涉仪
精品文
从激光器中发出两束同轴的并且在偏振方向上相互垂直的线偏振光，其频率为
，经过BS分光镜
分成两束光，其中一束经过BS反射后直接被光电探测器所接收，作为参考光束。此时，由马吕斯定律可
知，在检测器的主截面上，这两束相互垂直的线偏振光会发生拍频现象，拍频信号被作为参考信号；另一
束光经BS投射进入PBS偏振分光器，PBS会把这两束偏振方向相互垂直的线偏振光分开，经反射射向固
定角隅棱镜，经投射射向测量角隅棱镜。如果测量角隅棱镜以速度V进行移动，此时会造成多普勒效应，
这时，反射回来的光束的频率变为
（测量角隅棱镜的移动的方向决定了正负号的选取）。这束光在
此进入PBS，与重新会合后被光电探测器接收，作为测量光束，同样的，在检测器的主截面上，两束光
同样会发生拍频现象，此时拍频信号作为测量信号。由此我们可以得到解调的测量信号。
双频激光干涉仪是利用多普勒效应产生频差来测量位移信息，这种位移信息加载在和的频差上，因此对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。
2两种激光干涉仪特点分析
单频的激光干涉仪具有装置结构简单、成本低，精度高、灵敏度好r