崭新领域集成的微型机电系统日本称为微型机械Mieromae
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e美国则称为微型机电系统
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fMieroEleetroMeeha
iealsystems一MEMS欧洲称为微系统Mierosysteml微型机械现在微型机械的研究已达到较高水平已能制造多种微型零件和微型机构已研制成功的三维微型机械构件有微齿轮、微弹簧、微连杆、微轴承等微执行器是比较复杂、难度大的微型器件研制成功的有微阀、微泵、微开关、微电动机等2微型机电系统MEMS是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域是纳米加工技术走向实用化能产生经济效益的主要领域比如l微型机器人是一个非常复杂的机电系统美国正在研制的无人驾驶飞机仅有蜻蜓大小并计划进一步缩小成蚊子机器人用于收集情报和窃听医用超微型机器人是最有发展前途的应用领域。它可进入人的血管从主动脉管壁上刮去堆积的脂肪疏通患脑血栓病人阻塞的血管。日本制定了采用机器人外科医生的计划并正在开发能在人体血管中穿行、用于发现并杀死癌细胞的超微型机器人2微型惯性仪表惯性仪表是航空、航天、航海中指示方向的导航仪器由于要求体积小、重量轻、精度高、工作可靠因此是微型机电系统应用的理想领域现在国外已有微型加速度几何微型陀螺仪的商品生产体积和重量都很小但尚需提高精度由于MEMs的发展已初具基础微型器件的发展也已达到一定水平同时有微电子工业制造集成电路的经验可借鉴各产业部门又有使用MEMS的要求因此现在MEMS的发展条件已具备结语本文介绍了几种新兴的纳米加工技术各具优势各具独特的应用前景。根据不同应用场合可以选择不同工艺。纳米压印技术和其他纳米加工技术相比优势明显是下一代实用光刻技术具有强大的竞争力从根本上展示了纳米器件生产的广阔景纳米器件的设计与制造已成为世界上人们关注的热点，成为二十一世纪科学技术进步的发展动机。新型纳米加工技术的发展方向是多种技术的综合应用，以实现各种技术的优势互补。因此开展纳米加工技术和方法的研究，不仅可以获得自主知识产权，而且在未来的科技竞争中占据主动。
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f参考文献1崔铮微纳米加工技术及其应用北京高教出版社20052张兰娣温秀梅纳米加工技术及其应用微光刻与微纳米加工技术河北建筑工程学院学报2003年9月第12卷第3期陈宝钦走进纳米加工世界关注焦点中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室北京1000293EdHochHCJeli
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