法①热分解法金属拨基化合物在惰性介质N或洁净油中热分解或在H冲激光分解此方法粒度易控制适于大规模生产现在用于Ni、Fe、W、Mo等金属最细颗粒可达3一10
m②真空蒸发法金属在真空中加热蒸发后沉积于一转动圆的流动油面上可用真空蒸馏使颗粒浓缩此法平均颗粒度小于10
m2液相法①沉积法采用各种可溶性的化合物经混合反应生成不溶解的氢氧化物、碳酸盐、硫酸盐或有机盐等沉淀把过滤后的沉淀物热分解获得高强超纯细粉②SolGel法1969年RRoy采用此工艺制备出均质的玻璃和陶瓷由于该法可制备超细10
m一100
m化学组成及形貌均匀的多种单一或复合氧化物粉料已成为一种重要的超细粉的制备方法3放电爆炸法金属细丝在充满惰性气体的圆筒内瞬间通人大电流而爆炸此法可制造Mo
5
fW等难熔金属的超细颗粒25一350
m但不能连续操作4机械法利用单质粉末在搅拌球磨AtritorMil过程中颗粒与颗粒间和颗粒与球之间的强烈、频繁的碰撞粉碎近几年大量采用搅拌磨即利用被搅拌棍搅拌的研磨介质之间的研磨将粉料粉碎粉碎效率比球磨机或振动磨都高
c三束加工技术
可用于刻蚀、打孔、切割、焊接、表面处理等l电子束加工技术电子束加工时被加速的电子将其能量转化成热能以便除去穿透层表面的原子因此不易得到高精度但电子束可以聚焦成很小的束斑Φ01um照射敏感材料用电子刻蚀可加工出01um线条宽度而在制造集成电路中实际应用2离子束加工技术因离子直径为01
m数量级故可直接将工件表面的原子碰撞出去达到加工的目的用聚焦的离子束进行刻蚀可得到精确的形状和纳米级的线条宽度3激光束加工技术激光束中的粒子是光子光子虽没有静止质量但有较高的能量密度激光束加工常用YAG激光器（λ106um和CO2（λ1006um激光器位激光束加工不是用光能直接撞击去掉表面原子而是光能使材料熔化、汽化后去掉原子
dLIGA技术
LIGA技术是20世纪80年代中期德国WEhrfeld教授等人发明的，即从半导体光刻工艺中派生出来的一种加工技术。其机理是有深度同步辐射x射线光刻、电铸成型、塑铸成型等技术组合而成的复合微细加工新技术，主要工艺过程由x光光刻掩模版的制作、x光深光刻、光刻胶显影、电铸成模、光刻胶剥离、塑模制作及塑模脱模成型组成。适合用多种金属、非金属材料制造微型机械构件。采用LIGA技术已研制成功或正在研制的产品有微传感器、微电机、微执行器、微机械零等。微型机械和微型机电系统纳米加工技术的出现使微型机电系统进入了一个广阔的r