X
NumberVersio
TitleMo
itori
grecordsofparticlesi
clea
area
MQA0027R0201
洁净区尘埃粒子监测记录
1
制订日期
2
审核日期
3
批准日期
质保部（QA）管理员质保部（QA）部长
质量副总经理
分发部门：生产车间、质保部（QA）、质控部（QC）
修订历史：
版本号
修订日期
修订概述
01
20200612
首次制订
Effective：
fMQA0027R0201
监测区域监测人日期
有限公司
COLTD
洁净区尘埃粒子监测记录
洁净度等级复核人日期
测试状态
□静态□动态
房间名称：测试点编号
房间编号：
尘埃数
≥05μm
≥5μm
房间名称：测试点编号
房间编号：
尘埃数
≥05μm
≥5μm
平均值UCL
监测结论房间名称：
测试点编号
□合格
□不合格
房间编号：
尘埃数
≥05μm
≥5μm
平均值UCL
监测结论房间名称：
测试点编号
□合格
□不合格
房间编号：
尘埃数
≥05μm
≥5μm
平均值UCL
监测结论
□合格
□不合格
平均值UCL
监测结论
□合格
□不合格
fr