（缓冲液）使溶液PH值能控制在712之间，并且分散在水中。随后美国的孟山都公司（Mo
sa
to）、美国的杜邦公司（Dupo
t）、美国的纳尔科公司（Nalco）、美国的格蕾丝Grace）公司等分别开发了相关商业化的SiO2浆料产品，但是其部分配方并未直接以专利形式公开。2000年后，中国科学教投入了相关研究应用，华东理工大学技术物理研究所的何斌等人，使用母液分散法制得的SiO2浆料浓度可达30，由于加入了表面含有羟基的活性剂，得到的SiO2的浆料分散效果较好；2002年弗罗里达大学的Basim等使用02μm的单一粒径SiO2粉和蒸馏水来制备浆料，为了得到稳定浆料，利用C
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8、10、12系列表面活性剂作浆料的稳定剂，超声分散得到硅比重为12的稳定浆料。2008年日本日立化成工业株式会社的大森义和等人也通过电化学方法添加杂环化合物抑制阻挡导体与导电性物质的接触腐蚀研磨液，选用的也是分散法制备的硅浆料。凝聚法是利用是利用水溶液化学反应所生成的二氧化硅通过成核、生长，采用各种方法脱除其中杂质离子制得的SiO2水分散体系的一种方法，该方法制备而成的SiO2浆料颗粒粒径均一，形状规整，纯度与浓度较高，且原料便宜，生产成本较低。SiO2浆料按照原料路线可以分为硅酸钠水解和正硅酸乙酯（醇盐）水解法2种，硅酸盐水解又包括酸中和法、电渗析法、离子交换法三种。最为常用的离子交换法。其中离子交换法最为常用，2001年德国罗斯托克大学的K
oblich等人利用离子交换法制得了SiO2研磨浆料，其制备过程PH影响较为明显。2001年，挪威电子科技大学的Rao等人利用Amberlite的离子交换树脂置换硅酸钠得到PH值为24的硅酸，用氨水滴定凝胶化从而得到SiO2胶。2003年台南技术大学的Tsai等将硅酸钠通过阳离子交换树脂除去钠离子制得活性硅酸，利用
f2018年CMP研磨材料行业分析报告
KOH滴定此硅酸溶液制得SiO2溶胶，其实验结果的稳定性较差。醇水解法是在醇介质中催化水解正硅酸乙酯（TEOS）来制备单分散二氧化硅浆料。2001年印度尼赫鲁先进材料中心的Sudhee
dra等人探索了以缩氨酸为催化剂水解正硅酸乙酯（TEOS）制取SiO2浆料的方法。2002年美国国家能源部下属的劳伦斯利弗莫尔国家实验室的Suratwala等人将硅酸乙酯（TEOS）和氨水的混合物溶于乙醇介质中，调节乙醇、氨水、水和TEOS比例，水解缩合反应制得不同浓度的SiO2浆料。2004年日本千叶大学的Nishi
o等强力搅拌含有聚乙烯醇（PVA）的硝酸溶液，然后加入TEOS得到均匀的SiO2浆料。在市场份额占比方面CMP研磨液r