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专利技术领域分析CMP研磨垫,主要专利申请公司有四个:1)罗门哈斯公司(2009年被陶氏化学收购)成立于1909年,集研究、生产、经营精细化学品于一体,在中国申请了大量CMP研磨垫技术专利,占全球申请量70以上,专利内容涉及研磨垫结构特征、材料组份和加工方法,涵盖研磨技术的所有领域;2)日本合成橡胶公司(JAPS),该公司成立于1957年,20世纪90年代开始涉足CMP研磨垫业务领域,主要集中在材料组分研究;3)美国陶氏化学公司(DOW)成立于1897年,通过收购罗门哈斯供公司延续其在CMP研磨垫领域技术优势;4)三星电子(SMSU)成立于1969年,是最早涉足CMP研磨垫技术申请领域的公司,主要涉及研磨垫表面沟槽结构技术,对材料组分的研究成果相对较少。国际著名CMP研磨液开发公司Cabot于2015年10月收购专注于研发、生产和销售CMP研磨垫公司NexPla
ar,寄希望于通过此举带来销售渠道及专利技术的协同效应,实现CMP研磨垫和研磨液两项业务的快速增长。根据智妍咨询统计,2015年全球生产研磨垫的企业主要是美国陶氏化学,其垄断集成电路和蓝宝石领域所需研磨垫79的市场份额,此外Cabot、3M、日本东丽、台湾三方化学等也可生产部分芯片用研磨垫。从2016年起Cabot已经成为全球第二大CMP研磨垫供应商,2016年年报显示Cabot的CMP研磨垫业务收入达到052亿美元,同比增长625,占全球CMP研磨垫市场份额的9,增长4个百分点。
图4:2015年CMP研磨垫市场分布统计
资料来源:智妍咨询,
f2018年CMP研磨材料行业分析报告
2015年全球抛光垫的市场达到625亿元,同比增长8左右,行业龙头美国陶氏化学同样垄断国内90的市场份额,国内半导体靶材公司江丰电子(300666)通过引进Cabot公司材料和部分技术扩展国内市场,自主研发获得CMP研磨垫方向技术突破,目前产品实现送样下游国内客户测试,预计完成测试后实现逐步放量,以此提高在国内的半导体市场占有率,进而提升世界范围内CMP研磨垫领域的整体市场占有率。鼎龙股份(300054)从2013年开始进行CMP研磨材料的开发,2015年正式立项,投资1亿元人民币,建设10万片月的CMP研磨垫的生产线,目前公司完成CMP研磨垫的试产,同时为缩短下游认证周期,公司联合武汉新芯建设CMP研磨垫认证测试平台,加入认证过程。
12、CMP研磨液产品种类多,成分复杂技术壁垒高
CMP研磨液(Slurry)是平坦化工艺中的研磨材料和化学添加剂的混合物,Slurry主要是由研磨剂Abrasive、表面活性剂、PH缓冲胶、氧化剂和防腐剂等成r
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