～10mm。
为了防止通风系统正常工作时室内洁净空气通过排水管向外渗漏而当通风系统停止工作时室外非洁净空气向室内倒灌影响洁净室的洁净度、温湿度并消耗洁净室的能量与排水管相连的各个排水点均应设水封装置水封深度不得小于50mm。这是维持洁净室内各项技术指标的一个重要措施。为了进一步防止这一现象的发生同时也为防虫防鼠洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前往往还增设水封井。
6、循环水系统为了保护水资源以及降低生产成本用于生产设备的冷却水其使用前后除
了出水水温有了较大的提高水质变化不大经冷却塔降温处理后可重复使用。需要指出的是由于循环冷却水在循环过程中会产生蒸发、风吹等水量损失造成了水的浓缩含盐量增加直至沉积以及水中微生物繁殖和尘埃悬浮物、腐蚀剥落物及其它杂质形成沉积物为提高设备热交换率及延长设备寿命循环冷却水需进行水质处理。
二、安装管理程序
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1无尘车间洁净室施工管理制度1．1背景1．1．1半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。1．1．2图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。1．1．3洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。1．2责任与义务1．2．1所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。1．2．2承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。1．2．3承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。1．2．4开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。1．2．5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
f三、设备安装
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净化设备1、风淋室风淋室r