用微电子和微机械加工技术将所有的零件、电路和系统在通盘考虑
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f下几乎同时设计和制造出来，零件和系统是紧密结合在一起的，是一种自上而下的方法。微型机械设计的方法：微型机械设计和模拟主要包括微机构设计、微系统建模和仿真、有限元分析、CADCAM、虚拟现实等以计算机为工具的设计方法。引自：张西慧，梁春广微机电系统技术进展河北工业大学学报2003年第5期。三、微型机械制造的基本原理及方法（10分）答：微型机械制造的基本原理是：微型机械制造是以硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术为基础，制造加工微机械系统所需的微电子器件、电路、机械元件、传感器、执行器等零部件，并将其通过封装和测试后组装为小的微机械系统，再将其通过封装和测试后组装在微型机械工作的系统中，从而实现与宏观环境的连接，发挥微机械系统的特有性能的过程。微型机械制造与微型机械设计是相辅相成的，是一个边设计、边分析、边测试、边模拟、边修改、边制造的过程。微型机械制造的方法：硅基微机械加工技术（包括体硅微机械加工技术、表面硅微机械加工技术及固相键合技术）、LIGA加工技术、激光微机械加工技术、深等离子体腐蚀技术、紫外线厚胶腐蚀技术。引自：何涛杨竞范云先进制造技术北京：北京大学出版社，2006。四、综述及分析？（30分）根据自己所选的题目及所研究内容部分拟写论文，课程论文要求：1文献的综述，选题研究的国内外现状分析，选题研究目的及意义；2微机电系统原理、方案设计及分析；3建立微机电系统模型及运动分析；4结构设计及仿真分析；5结论；6参考文献。
注意：1）论文拟写：按照“中国机械工程”期刊论文发表格式。2）引用的参考参考文献及资料需要注明。
五、学习心得体会？（15分）答：通过对《微机械设计及制造》课程的学习，使我对微机械设计及制造方面的知识有了比较系统的的理解和掌握，同时对微机械系统及组成、微机械系统的特性、微机械设计的目的、微型机械设计、制造的基本原理及方法有了更深入的认识。由于在企业一直从事的是重型汽车及零部件的开发和工艺技术工作，也没有进行过微机械设计及制造相关知识方面的进修和学习，因此，在微机械设计及制造方面的认知完全是一片空白。通过本课程的学习，不仅使我对微机械设计及制造这门专业有了更深刻的了解，而且通过老师的循序渐进、层层深入、理论联系实际的精彩讲解和解读，
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f更是激发了我自己对微机械设计r