，杠杆机构微位移机构，弹性结构（包括扭簧、弯曲弹簧、横向压缩弹簧、伸缩筒、弹簧膜片膜盒）微位移机构，齿轮机构微位移机构，楔块机构、凸轮机构微位移机构。机电式的微位移机构包括：电热式（包括电热伸缩棒、电热伸缩筒）微位移机构、电磁式（包括电磁、磁致伸缩）微位移机构，压电、电致伸缩（包括压电陶瓷、电致伸缩器件）微位移机构。引自：httpwwwdoc88comp973391624421html第六十九讲微位移机构。5解释微机械设计的尺寸效应？答：微机械设计的尺寸效应是：在宏观领域作用微小的力和现象，在微观领域可能起着重要的作用。在微小尺寸领域，与特征尺寸L的高次方成比例的惯性力、电磁力等的作用相对减小，而与尺寸的低次方成比例的粘性力、弹性力，表面张力、静电力等的作用相对增大；随着尺寸的减小，表面积与体积之比相对增大，表面力学、表面物理效应将起主导作用。引自：httpwe
kubaiducomviewb2cb5f77f242336c1eb95ee2html微机械系统技术与发展郭志平2004年10月2日6解释微机械的微细加工？答：微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。在微机械研究领域中，从尺寸角度，微机械可分为1mm10mm的微小机械，1μm1mm的微机械，1
m1μm的纳米机械，微细加工则是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工等多种方式，微机械制造过程又往往是多种加工方法的组合。从基本加工类型看，微细加工可大致分为四类：分离加工将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射、切削、破碎等；接合加工同种或不同材料的附和加工或相互结合加工方式，如蒸镀、淀积、生长等；变形加工使材料形状发生改变的加工方式，如塑性变形加工、流体变形加工等；材料处理或改性和热处理或表面改性等。引自：httpwe
kubaiducomview1866b40c76c66137ee06199dhtml微细加工技术概述及其应用。7解释微传感器？答：微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的，微传感器具有微型化、智能化、低功耗、易集成的特点。引自：httpbaikebaiducomview3530767htm微传感器。二、微型机械设计的基本原理及方法（10分）答：微型机械设计的基本原理是：微型机械的设计与传统的设计不同，传统的设计思路是从零件到装配到系统，是自下而上的方法。微型机械的设计采r