研究生课程考核试卷
（适用于课程论文、提交报告）
科姓专
目：微机械设计及制造名：业：年月至
教学类年
师：号：别：月
上课时间：考生成绩：
卷面成绩
平时成绩
课程综合成绩
阅卷评语：
阅卷教师签名
重庆大学研究生院制
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f重庆大学研究生《微机械设计与制造》课程考核要求
1）引用的参考参考文献及资料需要注明；2）提交时间：年月日上课按组提交，交纸质稿及电子稿。
一、基本概念（35分）1解释微机械系统及组成？答：微机械系统即微机电系统，指的是用微电子和精细加工手段制造的含有结构和系统尺寸较小的静止或可动构件的机械装置。微机械系统的组成有：微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源。引自：httpwwwdoci
comp504783600html微型机械制造技术httpwe
kubaiducomviewb2cb5f77f242336c1eb95ee2html微机械系统技术与发展郭志平2004年10月2日2解释微机械设计的目的？答：微机械设计的的目不仅仅在于缩小尺寸和体积，更在于通过微型化、集成化、来搜索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。引自：httpwe
kubaiducomview2d1d4bfcf705cc17552709cahtml微型机械加工技术发展现状和趋势分析3解释微机械系统的特性？答：微机械系统的特性有：1）微型化：微机械系统的器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的微机械系统。批量生产可大大降低生产成本。4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的微机械系统。5）多学科交叉：微机械系统涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。引自：httpwe
kubaiducomviewb2cb5f77f242336c1eb95ee2html微机械系统技术与发展郭志平2004年10月2日4解释微位移机构的分类？答：微位移机构根据产生微位移的原理可分为机械式和机电式的微位
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f移机构。其中机械式的微位移机构包括：精密丝杠、差动丝杠微位移机构r