• 三氯氢硅的生产方法及其...
• 四氯化硅氢化制三氯氢硅...
• 用于纯化三氯氢硅的设备...
• 15kt／a三氯氢硅设备安装...
• 三氯氢硅生产及工艺
• 四氯化硅生产三氯氢硅的...
• 三氯氢硅生产尾气回收的...
• 一种精三氯氢硅的生产方...
• 专利三氯氢硅的合成方...
• 三氯氢硅生产技术