来探测纳米尺度的电位变化扫描离子电导显微镜SICM适用于进行生物学和电生理学研究扫描热显微镜STM已经获得血红细胞的表面结构弹道电子发射显微镜BEEM则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和界面结构的先进分析仪器国内也已研制成功。32纳米测量的扫描Ｘ射线干涉技术以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率不能给出表面结构准确的纳米尺寸是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度010～001
m尺寸测量的定标手段。美国NIST和德国PTB分别测得硅220晶体的晶面间距为192015560±0012fm和192015902±0019fm飞米fm也叫费米是长度单位1fm相当于10～15m。日本ＮＲＬＭ在恒温下对220晶间距进行稳定性测试发现其18天的变化不超过01fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距有较好的稳定性。扫描Ｘ射线干涉测量技术是微纳米测量中一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间
f距作为亚纳米精度的基本测量单位加上Ｘ射线波长比可见光波波长小2个数量级有可能实现001ｎｍ的分辨率。该方法较其它方法对环境要求低测量稳定性好结构简单是一种很有潜力方便的纳米测量技术。软Ｘ射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。迈克尔逊型差拍干涉仪适于超精细加工表面轮廓的测量如抛光表面、精研表面等测量表面轮廓高度变化最小可达05ｎｍ横向ＸＹ向测量精度可达03～10μｍ。渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中其分辨率可达01
m数量级。33光学干涉显微镜测量技术光学干涉显微镜测量技术包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于FP标准的测量技术等随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率如光外差干涉轮廓仪具有01
m分辨率基于频率跟踪的FP标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度其精度0001ｎｍ其测量范围受激光器调频范围的限制仅有01μｍ。而扫描电子显微镜SEM可使几十个原子大小物体成像。美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统位移分辨率高于06
m可在11ｍｓ的高速下测量适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。目前在微纳米机械中精密测量技术的一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。微细结构的缺陷研究如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析LST技术用于研究样品顶部r