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fMEMS传感器综述
摘要MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器具有很多新的特性相对传
统传感器其具有更大的优势。MEMS传感器种类繁多发展迅猛应用广泛。在追求微型化的当代其具有良好的发展前景必将受到各个国家越来越多的重视。首先本文简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题进行了分析探讨同时对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。
关键词MEMS传感器加速度计陀螺仪纳米技术微机构微传感器
山西大学
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fMEMS传感器综述
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山西大学
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fMEMS传感器综述
山西大学
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fMEMS传感器综述
引言MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器是MEMS器件的一个重要分
支。MEMS技术的进步和发展促进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要的组成部分MEMS传感器发展最快一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器正逐步占据传感器市场并逐渐取代传统机械传感器的主导地位已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。
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fMEMS传感器综述
第一章MEMS技术概要11MEMS技术的发展
1824年硅的发现为微电子技术和MEMS技术的发展奠定了材料基础。1954年发现了压阻效应为微型压力传感器的研制奠定了理论基础。1967年提出了表面牺牲层工艺技术并在此基础上制备出了具有高谐振r