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功能材料课程论文
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磁性薄膜研究进展与应用展望20133808陈俊奇功材1302
810308904
2016年5月磁性薄膜研究进展与应用展望
摘要：磁性薄膜是一个十分活跃的研究方向，广泛应用于电子学领域。本文对目前磁性薄膜的研究进展进展综述，简单地介绍了磁性薄膜的特点、磁性薄膜的制备方法以与磁性薄膜的表征手段。对磁性薄膜今后的研究方向进展探讨并讨论其新的应用可能。
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关键词：磁性薄膜，磁性能，制备方法，应用Abstract：Mag
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一引言
磁性薄膜是由铁、钴一类的过渡族元素与其合金等直接或间接产生磁性的物质来制备的薄膜，薄膜的厚度一般在几十纳米到几微米之间。磁性薄膜与普通薄膜相比其具有许多特殊的性能比如巨电导、巨磁电阻效应、巨霍尔效应等。因为其特殊的性能，磁性薄膜已经成为当前电子信息材料领域的研究的一大热点之一1。磁性薄膜在电子学领域有广泛的应用，如信息储存、隐身技术、磁传感器、微波通信、电子对抗、电磁兼容等领域2。运用磁性薄膜可以做成的各种器件，如薄膜磁记录介质、薄膜型磁头、薄膜变压器、薄膜电感器、薄膜噪声抑制器、平面薄膜电阻、电容等。
磁性薄膜材料按照材料不同可分为金属磁性薄膜和氧化物磁性薄膜两大类。目前，金属类Fe、Co与FeNi系等的研究已较为成熟，氧化物类主要分为尖晶石、磁铅石与石榴石铁氧体三大类。本文主要介绍氧化物磁性薄膜。
制备薄膜的方法大致可归为化学方法与物理方法两大类，薄膜制备的方法很多，如溶胶凝胶法、LB膜法、分子与原子束外延、电化学沉积法、化学气相沉积、溅射沉积、低能团簇束沉积、真空蒸发法、分子自组装等诸多方法。本文主要介绍溅射镀膜。
二磁性薄膜的分类
磁性薄膜按照材料的不同大致可以分为金属磁性薄膜和氧化物磁性薄膜。21金属磁性薄膜单层金属合金膜
单层金属薄膜的应用相对较多，比如磁记录使用的FeCrCo膜、磁光存储使用的TbFeCo膜等等，以与FeNi膜传感器。NiFe合金的磁电阻是各向异性AMR的，在某一平面上，当其所加的电流和磁场互相平行时有：ΔρρHρ00，但是当相互垂直时有：Δρr