面实际位置的等高线，表示有12波长的平面度偏差。平面度δ
×12λ（
为干涉带圈数，λ为光波波长，白光λ06mm）另外，如测量面中部为圆形干涉带，最外圈是对称的半圆形，则两条半圆形干涉带按一圈计算（如图4δ4×0312mm）；如半圆形干涉带是不对称的，则一条半圆形干涉带按一圈计算（如图5δ3×0309mm）。
参考文献1JJG212008《千分尺检定规程》中国计量出版社
f2JJG282000《平晶检定规程》中国计量出版社3JJF105912012《测量不确定度评定与表示》中国计量出版社
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