室内，然后发生化学反应，形成一种新的材
料，沉积到晶片表面上。
图：用硅烷在单晶硅表面CVD制多晶硅的原理过程示意图
c液相合成法液相法制备纳米材料的特点，是先将材料所需成分溶解在液体中形成均相溶液，然后通过反应沉淀得到所需组分的前驱物，再经过热分解得到所需物质。
1）沉淀法2）溶胶凝胶法（分为水溶液Solgel法和醇盐Solgel法）3）水热溶剂热合成4）微乳液法反相微乳液即油包水型WO型
当胶束内部的水或油池的体积增大，使液滴的尺寸远大于表面活性剂分子的单层厚度时，则称这种胶束为溶胀胶束或微乳液，胶团的直径可在几纳米至100
m之间调节。由于化学反应被限制在胶束中进行，因此微乳液可作为纳米材料的纳米级反应器。
根据水、油和表面活性剂的性质和加入量的不同，微乳液中的胶束可以自组装成不同的纳米结构。表面活性剂的选择和加入量是形成微乳液的关键。助表面活性剂通常为醇类，如正丁醇、正戊醇等。
制备微乳液的方法主要有两种：1）Schulma
法，将烃、水、乳化剂混合均匀，向其中滴加醇使混合液突然变得透明；2）Shah法，将烃、醇、乳化剂混合均匀向其中滴加水至系统突然变得透明，即获得微乳液。5）电解沉积法（电化学沉积法）
d模板合成（自组装、纳米印刷术）软模板主要应用于介孔或多孔材料的自组装，合成物的结构与模板的有序
孔结构或胶体晶结构相同。表面活性剂和嵌段共聚物的液晶体系、胶体颗粒和乳液液滴等均属于软模板体系。
硬模板则通常指多孔的薄膜或厚膜，如微孔沸石分子筛、介孔分子筛、多孔的Si和高分子膜、具有有序孔洞阵列的Al2O3膜以及金属膜等皆属于硬模板。
（4）成膜技术1）固态粒子烧结法（将无机粉体分散成悬浮液，成型制成生坯，干燥烧结
f制陶瓷膜或金属膜）2）溶胶凝胶法（浸涂制膜）3）薄膜沉积法
用溅射、离子镀、金属镀及气相沉积等方法，将膜料沉积在载体上制造薄膜的技术。4）阳极氧化法
阳极氧化法是目前制备多孔Al2O3膜的重要方法之一。该法的特点是，制得的膜的孔径是同向的，几乎互相平行并垂直于膜表面，这是其他方法难以达到的。5）相分离沥滤法
相分离沥滤法可以制备微孔玻璃膜、复合微孔玻璃膜和微孔金属膜。6）水热法
分子筛膜的合成（5）微晶化技术
微晶一般是指粒径介于1100μm的晶体粉末，也因粉体比表面积大，化学活性高，成为制造催化剂或载体的重要原料。主要制备技术为下面两类：
1）急冷技术2）烧结技术
包括常规烧结和特殊条件下的烧结，比如冲击波烧结。（可用r