目录前言1第一章ITO薄膜概述2
§11ITO薄膜的结构2§12ITO薄膜的特性2§13ITO薄膜的基本原理3
131ITO膜的导电机理3132ITO膜的半导体化机理3133影响ITO薄膜导电性能的几个因素4第二章ITO膜的制备方法5§21ITO薄膜制备方法简介5§22直流磁控溅射法制备ITO膜的基本原理6221磁控溅射基本原理6222气体辉光放电的物理基础7223辉光放电与等离子体8第三章实验部分11§31玻璃基片与超声清洗11§32ITO膜制备参数的选择12§33镀膜的工艺流程14第四章检测与结果分析16§41ITO薄膜在可见光范围内的透过率测试16§42ITO薄膜方块电阻的测定18§43工艺参数对透过率和方阻的影响r