式布气方式示意图
1进气管；2进气斗；3排气斗432、从气氛控制角度考虑进气流量、压力可控；排气阀门开度可控；炉内压力与排气阀门开度、进气压力互锁；
44多副产物的高效回收率真空碳化炉、化学气相沉积炉等都会产生大量的挥发性物质和副产物，这些副产物少则影响真空系统、
f污染环境，多则使生产无法持续，所以对于生产过程中副产物的处理至关重要，图16、17、18为顶立科技有限公司根据不同副产物的几种常见处理措施。
441、对于易燃性产物的回收易燃性产物主要指H2、CO、CH4、C2H2、C3H8等，常见解决办法是高频点火燃烧法；具体见图16所示结构：当炉内尾气从排气管排出后，在点火盘被点火燃烧，燃烧后的CO2及其它尾气被集风罩收集后可排到室外。
图16燃烧法尾气处理示意图
1抽风罩；2火焰检测器；3点火盘；4进气控制阀；5阻火器
442、对于可凝性产物的回收可凝性产物主要指碳化、化学气相沉积等工艺过程中产生的树脂、焦油等，对于该产物的主要处理措施是冷凝回收法；具体见图17所示：当炉内含有粘性物质的尾气进入冷凝器后，大部分的可凝性物质遇冷凝固，储存在一级和二级水冷收集罐内，干燥的固体粉尘在高效粉尘捕集器内被捕集，最后干净的尾气由真空泵抽出。
f图17焦油类副产物冷凝捕集回收示意图
1一级水冷收集罐；2调节阀门；3二级水冷收集罐；4高效粉尘捕集器；5真空阀门；6压差阀门；7真空机组；8尾气排放。
443、对于酸性腐蚀性产物的回收酸性腐蚀性产物主要指CSiC化学气相沉积过程中的副产物，该产物的处理措施为除水中和法，炉内带有HCL的尾气先进入除水除尘装置，当水分脱除后，干燥的HCL气体被真空泵抽走，减少了酸性气氛对真空泵的腐蚀，然后通过尾气喷淋罐进行喷淋中和，避免酸性气氛进入大气，污染环境。见其图18所示结构：
f图18腐蚀性副产物回收处理示意图
1除水除尘器；2真空机组；3耐腐蚀水泵；4尾气喷淋罐；5耐腐蚀大气喷射泵；6碱性介质。
5结束语碳材料的发展，将会直接影响国防工业和国民经济发展，碳材料的发展与制造装备息息相关。可以相信，我国目前正在探索的碳材料装备的研发以及各种碳材料装备的技术进步，将为我国实现碳材料产业的跨越式发展，并跃居世界先进水平，作出应有的贡献。
参考文献⑴贺福，碳纤维及石墨纤维北京：化学工业出版社20107⑵沈曾民，新型碳材料北京：化学工业出版社20037⑶罗瑞盈，碳碳复合材料制备工艺及研究现状【J】兵器材料科学与工程，199821（1）：6470；r