热器热容积要大于方形加热器炉膛，相同保温条件下，炉内均温性要略微优于方形加热器炉膛。相同均温区要求的情况下，炉膛外部电极散热区域大于圆形加热器炉膛，相同保温条件下，炉内均温性不及圆形加热器炉膛。
应用适用于圆形炉膛或大型圆形产品适用于方形炉膛
424、合理设计保温结构，降低单位容积能量损耗保温结构直接影响设备的均匀性和能量损失。保温过厚，保温性能好，但蓄热增加，成本增高，对于周期式作业的设备，冷却时间过长；保温过薄，虽蓄热减少，一次成本降低，但工作时热量损失大，密封等冷端元件使用寿命下降，严重的影响设备安全。
f所以，合理的考虑保温的材质和结构，是非常重要的。一般选择时应根据设备的工艺特点。对于快速作业的生产工艺（生产周期较短，且有快冷需要的），保温层在满足均温性的前提下，不宜太厚；
对于慢速作业的生产工艺（生产周期较长的），尽可能将保温层设计厚一点，有利于减少生产升温过程中热量的损失。可以采用湖南顶立科技有限公司研发的组合式复合保温结构，见图12、13，这种结构既能有效的起到炉膛保温的作用，同时又减小了保温材料本身的蓄热，对比分析见表9。
图12单层保温层结构图13组合式保温层结构
1硬质复合石墨毡；2高密度石墨纸1低密度保温棉；2石墨软毡；3硬质复合石墨毡；4高密度石墨纸
单层保温层结构组合式保温层结构单位体积热平衡功率1283kwm31056kwm3最外层保温温度340℃185℃
表9单层保温层结构与组合式保温层结构参数对比1500℃测量数据
425、从升温工艺角度考虑
f合理的设置升温过程中的PID参数和升温速度，对于调节设备的动态温度均匀性非常必要；
426、综合考虑温度场与气流场的相互作用温度场合气流场交替作用，必须充分考虑炉内气流的运动方向、气体压力等多方面因素来设计热场结构。
43大尺寸设备的气氛均匀性对于化学气相沉积炉，大尺寸设备的气氛均匀性将直接影响沉积的效果，笔者认为，对于气氛均匀性的控制，应从以下几个方面来考虑：
431、从布气角度考虑采用多点布气，多点排气的方式；当气体混合后，从进气管通过均匀分布的布气盘，多点进入到炉膛，并从底部多点排出，起到均匀气氛的作用，见图14所示。
f图14多点布气方式示意图
1进气管2进气分流管3排气分流管；4排气管
采用扩散式布气方式；当气流通过进气管时，沿进气管切线方向成螺旋状环绕进气管进入进气斗，扩散式进入炉膛，起到均匀气氛的作用，见图15所示。
图15扩散r