必须是纳米级研磨磨料也必须是超细微粉目前对纳米级刃口半径还无法直接测量2工艺系统的误差复映到工件工艺系统的受力热变形、振动、工件装夹等都将影响工精度3即使检测手段和补偿原理正确加工误差的补偿也是有限的4加工过程中存在不稳定因素如切削热环境变化及振动等由此可见传统的切削磨削方法一方面由于加工方法的局限或由于加工机床精度所限显示出在纳米加工领域应用裕度不足另一方面由于科技产业迅猛发展加工技术的极限不断受到挑战有研究表明磨削可获得35
m的表面粗糙度但对如何实现稳定、可靠的纳米机加工以及观察研究材料微加工过程力学性能则始终受到实验手段的限制因此纳米机加工必须寻求新的途径即直接用光子、电子、离子等基本粒子进行加工例如用电子束光刻加工超大规模集成电路纳米级加工精度包括：纳米级尺寸精度、纳米级几何形状精度和纳米级表面质量三个方面。纳米级的尺寸精度传统的长度基准是以标准尺为基准。由于零件材料的稳定性，内应力，本身重量造成的变形等内部因素和环境的温度变化、气压变化、测量误差等都将产生尺寸误差。所以，现在采用光速和时间作为长度基准。较大尺寸的绝对精度很难达到纳米级，较大尺寸的相对精度或重复精度可以达到纳米级。例如在超级精密加工中，某些特高精度孔和轴的配合，通过使用激光干涉测量或x射线干涉测量法都可以达到A0级的测量分辨率和重复精度。微小尺寸的纳米级加工，正处于研究阶段之中。纳米级的几何形状精度在精密加工中，精密零件的几何形状直接影响到它的工
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f作性能和工作效果，常要求达到纳米级的几何形状精度。例如，精密轴和孔的圆度和圆柱度，精密球（如陀螺球，计量用标准球）的球度。纳米级的表面质量纳米级的表面质量不仅仅指它的表面粗糙度，而且包含其在内的表层的物理状态，如无表面残留应力，无组织缺陷等。微型机械和超微型机械的零件对其表面质量有严格的要求。纳米级加工的关键技术
a测量技术
纳米级测量技术包括纳米级精度的尺寸和位移的测量、纳米级表面形貌的测量纳米级测量技术主要有两个发展方向1光干涉测量技术可用于长度、位移、表面显微形貌的精确测量用此原理测量的方法有双频激光干涉测量、光外差干涉测量、X射线干涉测量等2扫描隧道显微加工技术亦称为原子级加工技术，原理是通过扫描隧道显微镜的探针来操纵试件表面的单个原子，实现单个原子的和分子的搬迁、去除、增添和原子排列重组，实现极限的精r