轨迹。
4高精密伺服控制系统结构与控制原理
41高精密伺服控制系统的总体结构
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高精密伺服转台在正常工作时的角速度约为1″s，根据目前现有的硬件设施条件而言，高精密伺服转台必须使用高减速比的传动系统。由于机械传动会存在不可避免的齿轮间的距离、从动件移向凸轮轴心的行程等误差现象，所以想要实现高精度位置伺服，就必须采用全闭环控制系统，直接对转台位置进行检测并针对位置出现的误差进行伺服控制。转台及其控制系统结构如图2所示。
高精密伺服转台控制系统在设计时，将伺服转台底座固定在隔振平台上，采用直流伺服驱动，并经过R100减速比的减速器连接到从电动机到转台的机械传动系统上。
转台定位检测装置是增量式线光栅RLD10，是由英国Re
ishaw公司提供的，其输出信号经100细分，成为脉冲当量也就是控制定位移动的位移为02″的标转数字信号。由于控制系统采用全闭环结构，所以决定转台定位精度的是线光栅的位移检测精确度和控制系统控制精度，不影响转台的速度稳定性。机械传动装置的传动误差，是影响转台的速度稳定性的重要因素。
42高精密伺服控制系统控制原理分析
想要实现对电动机转矩的控制，获得零跟踪误差。控制系统的数字位置环采用的是带速度与加速度前馈的PID控制方式，在模拟控制部分，电流环起到了关键作用。系统控制原理如图3所示。
图3中，速度前馈系数为Kv，加速度前馈系数为Ka，位置调节器的传递函数为G1（s），电流调节器的传递函数为G2（s），电流反馈系数为T，电机传递函数为H（s）。电流环和线性直流功放两部分组成了模拟控制及驱动系统，并通过霍尔器件得到电流环的反馈信号。线性直流功放的放大倍数最高为6，能保证给电机提供足够的大功率。
43基于高速DSP的运动控制器
在图2中，数字位置环的核心部分是数字控制器。它的输入是计算机的控制命令，包括控制参数、控制方式、控制目标等，用于处理输入的增量式光栅信号，计算出控制量并将控制信号输出给模拟驱动器。其主要功能模块如图4所示。
在图4中，存有DSP数控系统主程序及系统初始化信息的是数据ROM；而数据RAM主要用于存储DSP运行时的数据；数据交换的逻辑接口为CPLD，主要负责控制信号的输出，以及光栅信号的输入与处理。该数控系统与计算机的连接，主要依托的是通过ISA总线接口，从而完成控制过程中控制指令与状态参数的互相传递。
从其功能性来看，数字位置控制器实际上是PIDKvKa滤波器，通俗来讲就是一个带有r