涂层的研究进展物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展
曹华伟张程煜乔生儒曹晓雨（西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室，西安710072）摘要：本文概述了物理气相沉积TiAlN涂层的研究现状及发展趋势，详细分析了制备方法、摘要Al元素含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对TiAlN涂层的结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的TiAlN涂层存在残余应力较大，表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题。为进一步促进TiAlN涂层的应用，今后还需探索该涂层的制备方法，优化其制备工艺。多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向。关键词：TiAlN涂层制备方法晶体结构硬度高温抗氧化性综述关键词
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0前言

国家自然科学基金面上项目50702045；高等学校博士学科点专项科研基金20070699007和新世纪优秀人才支持计划NCET080460第一作者：曹华伟1986，河南周口，男，西北工业大学超高温结构复合材料实验室研究生、主要研究多第一作者弧离子镀TiAlN涂层的结构与性能。Emailcaohuawei19860401163com通信地址：陕西省西安市友谊西路127号西北工业大学547信箱
f目前利用物理气相沉积技术PhysicalVaporDepositio
PVD制备薄膜或涂层对金属进行表面改性已经取得很好的使用效果。氮化钛TiN涂层具有较高的硬度和良好的耐磨性，能够提高刀具、钻头等工具的寿命1，但抗高温氧化性能较差，550℃时已经开始氧化2。在随着现代工业的发展，TiN涂层已经不能满足切削刀具行业的要r