高纯水制作工艺过程①随着电子工业的不断发展，半导体技术对水的纯度要求愈来愈高工②水的纯度直接影响着半导体材料质量的好坏。天然艺水中含有大量的悬浮物质和溶解物质Ca、Mg等酸或目碳酸盐和O2、N2等气体采用离子交换后可除去水中的的强电解质，其水的纯度可达到8MΩcm以上
主要设备及原材料
①主要设备、中空纤维超滤、电渗析器、反渗透、有机玻璃离子交换柱②塑料纯水箱4个（3吨容量）、酸洗水溶液箱1个（500kg容量）、碱溶液水箱1个（500kg容量）③主要原材料、150V直流电源器、强酸性阳离子交换树脂、强碱性阴离子交换树脂④优级纯NaOH、优级纯HCL、柠檬酸、氨水、PH试纸
操作规程
①首先打开自来水，经中空纤维超滤净化，将水中较大的颗粒滤掉，再经过过滤芯滤掉水中较小的颗粒，然后进入电渗析中②打开电渗析的直流电源，使电极与水的阀门对应，流量控制在20003000kgh③压力不高于025Mpa，测试水质电导在小于40scm④可流入初级水箱中⑤打开水泵将初级纯水注入反渗透后，再注入A1A2的交换拄中⑥流入交换柱内的水流量直接影响其交换的结果，为了确保水质，规定流量不得高于2吨小时，压力不高于025Mpa⑦经终端过滤，测试水质达到8MΩcm以上时，可直接使用；当水质低于8MΩcm时，停止使用⑧换用B1B2交换柱，用法同A1A2；根据使用量的大小可调节流入高纯水箱的阀门
注意事项：1、可根据用水量的大小作适当的调整2、工艺要求要保证制水室内工作温度适宜、避免阳光直射、保持室内干净、卫生；处理树脂时必须穿好工作服；使用酸、碱等腐蚀性试剂时要穿戴耐酸碱手套
f主要原材料消耗定额混床离子交换树脂的再生碱溶液再生阴树脂
①盐酸（优级纯）每月20瓶（2500ml瓶）、柠檬酸每月17瓶（500g瓶）、氨水每月1瓶（500g瓶）、氢氧化钠（优级纯）每月48瓶（500g瓶）
①树脂失效表明树脂可供交换的H和OH（），再次具注意事项：备交换能力，就叫树脂的再生②树脂的再生方式分为动态再生和静态再生③混床动态再生：混床交换时，阴阳树脂充分混合，再生处理时，必须严格分开④逆流分层：交换柱内树脂充分混合，再生前必须首先进行短时间的强烈反冲，反冲的目的是松动和扩大树脂层，改变树脂的密实状态，由于阴阳树脂的比重不同用初级纯水由底部注水交换柱内，到溶液全部没入树脂后，并将初级纯水放出，往复进行直道阴阳树脂彻底分开为止①分层后的树脂r