超声波清洗机是由超声波发生器、超声波换能器及清洗槽构成，决定超声波清洗效果的好坏及超声波清洗机质量的关键在于超声波发生器。超声波发生器实际上就是一台大功率逆变电源，它的发展也经历了电子管式、闸管式、晶体管式及VMOS管式等几个阶段。电子管式超声波清洗机由于管子自身的弱点，已很少生产。目前国内外生产的超声波清洗机多为晶闸管式，由于受到器件本身特性的限制，这类清洗机多为2KW以下，工作频率也较低，约为20KHZ，而且其效率仅达80左右，故障率也较高。晶体管及VMOS管式超声波清洗机由于受管子容量的限制，只适用于小功率的超声波清洗机，且控制电路也比较复杂。大功率超音频IGBT电力电子器件的出现，给超声波清洗机带来了革命性的变化，