指一密闭的空间，而有特殊的用途、诸如抽真空，气体反应或金属溅镀等。因此常需对此空间的种种外在或内在环境加以控制；例如外在粒子数particle、湿度等及内在温度、压力、气逞流量、粒子数等达到最佳的反应条件。
27Cha
el通道缝道
当在MOS的闸极加上电压（PMOS为负，NMOS为正）。则闸极下的电子或电洞会被其电场所吸引或排斥而使闸极下的区域形成一反转层I
versio
layer。也就是其下的半导体ptype变成NtypeSi，Ntype变成ptypeSi，而与源极和汲极成同type，故能导通汲极和源极。我们就称此反转层为