晶圆封装测试工序和半导体制造工艺流程txt两个人同时犯了错,站出来承担的那一方叫宽容,另一方欠下的债,早晚都要还。不爱就不爱别他妈的说我们合不来。A晶圆封装测试工序
一、IC检测
1缺陷检查DefectI
spectio
2DRSEMDefectReviewSca
i
gElectro
Microscopy
用来检测出晶圆上是否有瑕疵,主要是微尘粒子、刮痕、残留物等问题。此外,对已印有电路图案的图案晶圆成品而言,则需要进行深次微米范围之瑕疵检测。一般来说,图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆表面。再由一或多组侦测器接收自晶圆表面绕射出来的光线,并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除,以辨识并发现瑕疵。
3CDSEMCriticalDime
sioi
Measureme
t
对蚀刻后的图案作精确的尺寸检测。
二、IC封装
1构装(Packagi
g)
IC构装依使用材料可分为陶瓷(ceramic)及塑胶(plastic)两种,而目前商业应用上则以塑胶构装为主。以塑胶构装中打线接合为例,其步骤依序为晶片切割(diesaw)、黏晶(diemou
tdiebo
d)、焊线(wirebo
d)、封胶(mold)、剪切成形(trimform)、印字(mark)、电镀(plati
g)及检验(i
spectio
)等。
1晶片切割(diesaw)
晶片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die)切割分离。举例来说:以02微米制程技术生产,每片八寸晶圆上可制作近六百颗以上的64M微量。
欲进行晶片切割,首先必须进行晶圆黏片,而后再送至晶片切割机上进行切割。切割完后之晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支避免了胶带的皱褶与晶粒之相互碰撞。
2黏晶(diemou
tdiebo
d)
黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)粘着固定。黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至弹匣(magazi
e)内,以送至下一制程进行焊线。
3焊线(wirebo
d)
IC构装制程(Packagi
g)则是利用塑胶或陶瓷包装晶粒与配线以成集成电路(I
tegratedCircuit;简称IC),此制程的目的是为了制造出所生产的电路的保护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。最后整个集成电路的周围会向外拉出脚架(Pi
),称之为打线,作为与外界电路板连接之用。
4封胶(mold)
f封胶之主要目的为防止湿气由外部侵入、以机械方式支持导线、部产生热量之去除及提供能够手持之形体。其过程为将导线架置于框架上并预热,再将框架置于压模机上的构装模上,再以树脂充填并待硬化。
5剪切成形(trimform)
剪切之目的为将导线架上构装完成之晶粒独立分开,并把不需要的连接用材料及部份凸出之树脂切除(deju
k)。成形之目的则是将外引脚r