浅谈传感器的现状和发展趋势
1微型化（Micro）为了能够与信息时期信息量激增、要求捕捉和处置信息的能力日趋增强的技术发展趋势维持一致，对于传感器性能指标（包括精准性、靠得住性、灵敏性等）的要求愈来愈严格；与此同时，传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程，因此还要求传感器必需配有标准的输出模式；而传统的大体积弱功能传感器往往很难知足上述要求，所以它们已慢慢被各类不同类型的高性能微型传感器所取代；后者主要由硅材料组成，具有体积小、重量轻、反映快、灵敏度高和本钱低等长处。由计算机辅助设计（CAD）技术和微机电系统（MEMS）技术引发的传感器微型化目前，几乎所有的传感器都在由传统的结构化生产设计向基于计算机辅助设计（CAD）的模拟式工程化设计转变，从而使设计者们能够在较短的时间内设计出低本钱、高性能的新型系统，这种设计手腕的庞大转变在很大程度上推动着传感器系统以更快的速度向着能够知足科技发展需求的微型化的方向发展。对于微机电系统（MEMS）的研究工作始于20世纪60年代，其研究范围涉及材料科学、机械控制、加工与封装工艺、电子技术和传感器和执行器等多种学科，是一个极具前景的新兴研究领域。MEMS的核心技术是研究微电子与微机械加工与封装技术的巧妙结合，期望能够由此而制造出体积小巧但功能壮大的新型系统。通过几
f十年的发展，尤其最近十连年的研究与发展，MEMS技术已经显示出了庞大的生命力，此项技术的有效采用将信息系统的微型化、智能化、多功能化和靠得住性水平提高到了一个新的高度。在当前技术水平下，微切削加工技术已经可以生产出来具有不同层次的3D微型结构，从而可以生产出体积超级微小的微型传感器敏感元件，象毒气传感器、离子传感器、光电探测器这样的以硅为主要组成材料的传感探测器都装有极好的敏感元件1，2。目前，这一类元器件已作为微型传感器的主要敏感元件被普遍应用于不同的研究领域中。
微型传感器应用现状就当前技术发展现状来看，微型传感器已经对大量不同应用领域，如航空、远距离探测、医疗及工业自动化等领域的信号探测系统产生了深远影响；目前开发并进入实用阶段的微型传感器已可以用来测量各类物理量、化学量和生物量，如位移、速度加速度、压力、应力、应变、声、光、电、磁、热、PH值、离子浓度及生物分子浓度等2智能化（Smart）智能化传感器（SmartSe
sor）是20世纪80年代末出现的另外一种涉及多种学科的新型传感器系统。此类传感器系统r