影响三坐标测量机的精度和长期稳定性的因素
一．机械精度：（一）21项机械制造误差。
1．静态误差：由定位误差（3个）直线度误差（6个）垂直度误差（3个）共12项误差组成。测量软件可进行补偿修正，但必须用双频激光干涉仪、激光准直仪、光学平尺等检测出误差值的大小，按照其补偿数学模型进行修正。定位差δxx沿X延X方向的定位差；δyy沿Y延Y方向的定位差；δzz沿Z延Z方向的定位差。
直度差δyx沿X延Y方向的直度差；δzx沿X延Z方向的直度差；δxy沿Y延X方向的直度差；
fδzy沿Y延Z方向的直度差；δxz沿Z延X方向的直度差；δyz沿Z延Y方向的直度差。垂直度差αxyX、Y的垂直度差；αxzX、Z的垂直度差；αyzY、Z的垂直度差。2．动态误差：由滚转误差（3个）俯仰误差（4个）偏摆误差（2个）共9项误差组成。测量软件可进行补偿修正；但必须用双频激光干涉仪、激光准直仪、电子水平仪等检测出误差值的大小，按照其补偿数学模型进行修正。度差（角运动差）εxx沿XX方向的差（滚转误差）；εyy沿YY方向的差（滚转误差）；εzz沿ZZ方向的差（滚转误差）；εyx沿XY方向的差（俯仰误差）；εxy沿YX方向的差（俯仰误差）；εyz沿ZY方向的差（俯仰误差）；εxz沿ZX方向的差（俯仰误差）；εzx沿XZ方向的差（偏摆误差）；εzy沿YZ方向的差（偏摆误差）；3．21项机械制造误差的产生原因静态误差：主要是花岗岩工作台、横梁和Z轴的制造误差；机械结构的装配误差；动态误差：传动系统传动的平稳性及传动的方式（即中央或单边驱动）；运动控制对于运动轨迹的控制能力；运动部分即移动桥的重量；运动部分即移动桥的结构重心的高低；
f运动部分即移动桥的的跨度的大小；机械结构的装配误差；机械结构的受力布局状况；
a三轴的气动布局空气轴承在三轴导轨面上的布局状况：受力的受力平衡、受力支撑点的数量及各受力支撑点的大跨距的r