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三坐标测量机精度影响因素分析及解决措施
作者：冀红来源：《科学与财富》2017年第10期
摘要：三坐标测量机广泛应用于生产制造和检测计量中，其精度要求越来越高。文中系统地对三坐标测量机精度影响因素分析及解决措施，具有一定的实际意义。关键词：三坐标测量机；精度；影响因素；解决措施1概述随着微型化技术和精密加工技术的发展，对三坐标机的测量精度要求越来越高。传统的误差综合分析法已经不能满足要求，因此需将误差分解，逐一检测并修正，达到高精度的要求。随着工业生产和科学技术的发展，对三坐标测量机的精度要求也愈来愈高。研究误差的类型及其对测量数据的影响，掌握误差传递与合成、转化和相互作用的规律，并对其进行修正具有重要意义。三坐标测量机产生测量误差的原因很多，影响测量精度的差别较大，不易进行比较和评定。2三坐标机精度影响因素三坐标机包含有测量机主机、触测系统、机械气路系统、电气控制柜、计算机及软件系统，由于测量系统组成复杂，精度影响因素众多，既有坐标机自身组成系统的原因，又有环境条件因素，还有计量校准过程中的操作环节把握等原因，需要逐一进行分析。21三坐标机自身系统因素（1）气路及导轨系统三坐标机采用空气轴承导向，高压气体通过气眼进入工作面和导轨面之间，形成均匀的气隙，正常工作时气隙6～10μm，气压浮动导致气浮块间隙变化，影响测量机的重复性。气压不足时，会使导轨不能完全浮起造成与导轨摩擦，轻者影响精度，重者磨损导轨和气浮块、损坏测量机。因此，压力正常时，必须保证压缩空气的洁净度及导轨的平面度，以确保空气轴承正常工作。具体解决措施主要包括，经常采用酒精纱布或酒精脱脂棉擦拭导轨，定期放干气路系统中的水和油，定期检查并更换滤芯，定期检查气管。（2）计数系统计数系统由光栅尺、读数头、信号转换电路等组成，读数头和光栅尺间的间隙是可变的，但在出厂前都经过调整并固定稳当，使输出信号符合控制系统要求。当发生厉害的撞击后，光
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栅尺和读数头之间的距离可能发生变化，引起输出信号不稳定或者无法识别及精度超差。所以，避免撞击、杜绝严重撞击事件是维护计数系统极为有效的途径。（3）电气控制系统电气系统由控制柜及内部各控制单元板、操纵盒、互联电缆及各电机、光栅读数头、温度传感器等部件组成。测量机主要由控制柜中的各种控制单元板及外围设备实现对测量机的精确控制r