旋涡分离器、袋式过滤器、一级水冷器、二级水冷器、35℃冷凝器，大部分三氯硅烷在膜压机前先冷凝下来，进入机前计量罐中，未冷凝的少量三氯硅烷、氯化氢和氢气进
f入隔膜压缩机加压，再经机后水冷凝器、35℃盐水冷凝器冷凝，液体经机后产品计量罐计量后进入中间产品贮罐，不凝气送尾气变压吸附回收系统回收微量的三氯氢硅和氯化氢，氢气从尾气淋洗塔顶放空。变压吸附装置吸附的三氯氢硅和氯化氢定期用干式真空泵抽真空解析、并用隔膜压缩机加压送至硫酸液循环泵后氯化氢缓冲罐与新鲜氯化氢混合后送至三氯氢硅合成炉参与反应。
中间产品贮罐中的三氯氢硅、四氯化硅混合液，借隔膜压缩机的压力，经电磁浮子流量计计量后，加入加压分离塔，通过控制塔底再沸器及塔顶冷凝器的温度和压力，将HCl、H2等低沸点物质分离，从塔顶冷凝器顶部经尾凝冷凝后排入尾气淋洗塔，合格的三氯氢硅产品经流量计进入三氯氢硅成品贮罐，塔底的混合液（大部分是四氯化硅）进入加压提纯塔，通过控制加压提纯塔的塔底再沸器及塔顶冷凝器的温度和压力，并且控制合适的回流量，塔顶冷凝器冷凝液除回流部分外，一部分进入中间计量罐，从而确保塔底四氯化硅＞97的情况下，塔底液体经计量进入四氯化硅成品贮罐。当成品贮罐液位达80时，倒罐隔离，充N2加压装车外售。
制氮工艺流程简述：从空压装置来的干燥仪表空气（压力≥06MPa、露点：40℃）经缓冲罐、活性炭过滤罐后、经制氮分子筛吸附氧后，进入氮气缓冲罐，经流量计进入氮气贮罐共各工序使用，富氧空气用管道引至室外排放。
3、生产工艺流程简图：
f四、主要技术指标硅粉转化率：氯化氢利用率：加压冷凝率：三氯氢硅收率：
9599≥95≥98
f四氯化硅收率
100
冷凝产物组分：
其中：三氯氢硅含量：～83
四氯化硅含量：～17
提纯总收率：
95
五、主要设备
设备名称
型号及规格
材质
单位数量
氯化氢缓冲罐
25m3
玻璃钢
个2
酸雾捕集器
Φ18003910
碳钢
个2
35℃冷却器
圆孔块式，石墨石墨
台2
氯化氢压缩机
1800Nm3h
台6
螺旋板冷却器
台6
分离器
个6
浓硫酸高位槽
6m3
Q235B
个1
盐酸中间储罐
0025m3
玻璃钢
个2
盐酸储罐
5m3
玻璃钢
个1
硅粉袋滤器
Φ13003451
Q235B
台1
硅粉干燥器
Φ120013004250Q235B
台4
硅粉池
混凝土内衬个2
三氯氢硅合成炉
DH8007500
16M
R
台16
沉降器
Q235B
台2
旋涡分离器
台2
f存渣罐
Q235B
台2
机前冷却器
石墨16M
R台8
机前35℃冷凝器
Φ12006071
16M
DR
台2
机后冷却器
Φ8004058
16M
R
台1
机r